<H&iruja, 클러스터 스퍼터 (2022 디스플레이 총괄 워크샵)>

2022년 11월 9일부터 11일까지 휘닉스평창에서 열린 ‘2022 디스플레이 총괄 워크샵’에서 H&iruja가 8.5세대 기판용 중소형 OLED 양산화를 위한 초청정 저손상 클러스터 스퍼터 개발 연구과제에 대한 발표를 진행했다.

H&iruja에서는 “모바일 기기 패널 사이즈의 대형화와 노트북, 태블릿 PC, 모니터 등 IT기기로의 OLED 패널 적용확대로 인해 대형 기판을 이용한 수율 향상과 생산성 증대가 중요해졌다”고 말하며 “이와 함께 고해상도 디스플레이의 요구로 인해 초청정 저손상에 유리한 클러스터 스퍼터의 개발이 필요하다”고 발표했다.

<H&iruja, 클러스터 스퍼터 (2022 디스플레이 총괄 워크샵)>

해당 과제는 1세부와 2세부의 핵심부품 개발과 3세부의 장비 시스템 개발로 이루어져 있다. H&iruja는 그 중 3세부의 초청정 저손상 8.5세대 클러스터 스퍼터 개발을 주관하며, 수요 기업의 장비 성능은 삼성디스플레이가 검증한다.

H&iruja는 “1차년도인 2021년에는 8.5세대 진공시스템 구성 결정과 박막균일도 확보용 시뮬레이션 및 기반기술 검증을 완료했다. 2차년도인 2022년에는 8.5세대용 캐소드 평가용 챔버와 테스트 kit 제작을 통한 단위 기술 검증을 진행중이며, 온도와 플라즈마 시뮬레이션, 박막 분석을 통한 최적화를 진행중이다”고 전하며 ”향후에는 8.5세대 스퍼터 장비 개발과 스퍼터 성능 및 신뢰성 확보를 과제로 개발할 계획이다”라고 발표했다.

끝으로 “전세계적으로 고해상도 중소형 OLED 시장의 확대가 예상되는 가운데 대면적 클러스터 스퍼터의 개발이 완료된다면, 한국만의 디스플레이 경쟁력 확보가 가능하다. 해당 연구과제 해결로 소재-모듈-장비-패널 수요 기업으로 이어지는 견고한 SCM을 구축하고, 양질의 부품과 장비 수급, 공급의 안정성을 확보할 수 있다”고 강조하며 발표를 마쳤다.